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氧化铝功能薄膜的应用与制备工艺方法

作者:氧化铝功能薄膜 时间:2022-10-08 15:17:33 点击:

1. 太阳能电池背面的钝化膜

PERC(钝化发射极和后电池),即发射极和后电池钝化技术。目前,PERC电池的转换效率已经达到20%。PERC技术是PERC电池的核心技术,其工作原理是通过在电池背面增加一层介质钝化层,让电池的红光通过,而不通过反射部分产生能量,从而提高转换效率。

氧化铝功能薄膜应用

PERC电池进行背面钝化处理技术有多种功能实现教学方法,目前以使用不同氧化铝生产制作以及背面钝化薄膜为主流研究方法。产业化沉积影响薄膜的技术管理手段发展主要有以Solaytec、韩华新国际能源等厂商为代表的原子层沉积(ALD)方式,及以瑞士Meyer Burger为代表的板式(PECVD)沉积作用方式。

2、食品/药品/电子封装等高阻隔薄膜

在有机薄膜表面沉积纳米无机物后,PVC 中邻苯二甲酸酯类增塑剂的迁移量由16.2% 降至2.4% ,低于欧盟3% 的标准,食品安全性大大提高。阻隔包装是指使用含氧物质和水蒸气的阻隔物穿透产品包装,以延长食品、药品、化妆品和环境敏感物品的保质期和保质期,保证储存、运输和配送过程中的新鲜、风味、质量和安全。

第一代阻隔包装材料主要是有机薄膜,如PE、PP、PET、PVDC、PVC等。使用方便,成本低,用量大,但阻隔性低限制了其应用范围。第二代阻隔包装材料采用铝箔或蒸发膜铝作为阻隔层。这种阻隔膜的工艺比较简单,对空气和水的阻隔性很高。如在PET、BOPP等表面镀3~5μm的铝膜。可降低O2透过率10倍以上,水蒸气透过率6~8倍。第三代阻隔包装材料,即通过蒸发或化学气相沉积在有机薄膜表面沉积的高阻隔氧化膜。

镀氧化硅和镀氧化铝薄膜透明性好,阻氧、阻湿等性能研究非常优秀,但由于网络设备企业投资发展极其昂贵,加之加工信息技术管理难度很高,故产品生产成本极高。

3、机械领域中的应用

高机械强度、高硬度(莫氏硬度9)、耐磨性、耐腐蚀性、高温稳定性、强化学惰性等被广泛应用于工具和模具及机械零件中。磨损是机械系统失效的主要原因之一。通过在零件表面涂覆耐磨氧化铝陶瓷涂层,零件可以获得优异的耐磨性。

汽车发动机活塞磨损严重,需要频繁更换,不方便、不经济。在活塞环槽上镀一层陶瓷膜,提高活塞环的耐磨性,延长活塞环的使用寿命。将该方法应用于重型柴油机的活塞试验将更具有实际意义。

具有各种类型氧化铝涂层的硬质合金切削工具,例如纯κ-Al2O3、κ-al2o 3和α-Al2O3的混合物以及极粗晶粒的α-Al2O3涂层,已经在工业规模上生产了许多年。氧化铝膜具有极低的透氢性,镀在氢气环境下工作的设备表面,能有效防止氢脆。

其他

杜邦分析公司(Du Pont)采用ALD(原子层沉积法)制备不同厚度25nm的氧化铝薄膜技术作为有机电致发光二极管(OLED)的气体通过扩散阻隔层,大大地发展提高了OLED的发光寿命;美国Corning公司在DLP显示中国芯片DMD的封装中采用ALD的氧化铝薄膜企业作为一个密封层等;氧化铝薄膜因其折射率低,透光范围宽,是一种比较常用的增透薄膜复合材料;和其他影响薄膜主要材料重要组成的红外反射膜系可以选择透过可见光,反射红外光,对人体能方面起到环境保护管理作用,广泛研究用于我国汽车及建筑物的玻璃产品表面;氧化铝薄膜质量作为学生一种宽禁带发光材料,发光范围存在较大,可实现智能平板数据显示的全色显示,在平板显示中具有非常广阔的应用市场前景。

工艺手段

氧化铝进行薄膜的制备研究方法有很多种,如:磁控溅射、离子束技术辅助材料沉积(IBAD)、脉冲通过激光表面沉积(PLD)、电子束物理气相沉积、化学气相沉积(CVD)、原子层沉积(ALD)和溶胶-凝胶(Sol-Gel)等。


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